微细加工技术

王文静中国科学电工研究所

曹自洋; 何宁; 李亮南京航空航天大学; 南京; 210016; 南京航空航天大学; 南京; 210016; 南京航空航天大学; 南京; 210016

刘伟; 魏淑华; 方光荣; 顾文琪山东理工大学; 电气与电子工程学院; 山东淄博; 255049; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080

张今朝; 方光荣中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080

张飞; 李艳秋中国科学院电工研究所; 北京; 100080; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院电工研究所; 北京; 100080

苏奇名; 刘世炳; 陈涛; 鲍勇; 武强北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022; 北京工业大学; 激光工程研究院; 北京; 100022

孙志; 秦水介贵州大学; 光电子技术及应用重点实验室; 贵阳; 550025; 贵州大学; 光电子技术及应用重点实验室; 贵阳; 550025

杨杰伟; 吴一辉; 王淑荣; 张平中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 长春; 130033; 中国科学院研究生院; 北京; 100039; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 长春; 130033; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 长春; 130033; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 长春; 130033

孙磊; 苑伟政; 乔大勇西北工业大学; 微/纳米系统实验室; 西安; 710072; 西北工业大学; 微/纳米系统实验室; 西安; 710072; 西北工业大学; 微/纳米系统实验室; 西安; 710072

吴建刚; 岳瑞峰; 胡欢; 曾雪锋; 康明; 王喆垚; 刘理天清华大学; 微电子学研究所; 北京; 100084; 清华大学; 微电子学研究所; 北京; 100084; 清华大学; 微电子学研究所; 北京; 100084; 清华大学; 微电子学研究所; 北京; 100084; 清华大学; 微电子学研究所; 北京; 100084; 清华大学; 微电子学研究所; 北京; 100084; 清华大学; 微电子学研究所; 北京; 100084

孙宝玉; 刘虹; 梁淑卿长春工业大学; 机电学院; 长春; 130012; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 长春; 130022; 长春工业大学; 机电学院; 长春; 130012; 长春工业大学; 机电学院; 长春; 130012

陈飞彪; 李小平华中科技大学; 机械学院; 武汉; 430074; 华中科技大学; 机械学院; 武汉; 430074